レジスト中の粒子の数は管理する必要がある。レジスト溶液中の粒子の数は、パターンの加工品質と後続装置の良率を直接決定する。液体粒子計は、半導体や表示パネルの製造中に高精細な清浄度を維持するための液体粒子カウンタのために電子材料として開発された基本装置である。フォトレジスト製品、SOGなどの製品の中で最小0.07 umの粒子を検出することができる。レジスト材料の開発と来料検査に適応する。

KS-41A主な技術パラメータ
テスト方法：Off-line
測定最小粒径：0.15 um
粒径範囲：0.15 um-0.5 um
出荷時設定チャネル：0.15/0.2/0.3/0.5 um
独自に10 Channelsまで拡張可能
液体流速：10mL / min
光源：レーザーダイオード（波長830 nm、出力：200 mW）
試験可能粒子濃度：1200粒/mL（0.15 umの誤差値は5%以内）